国内有做MEMS芯片式气体质量流量控制器和流量计的厂家吗?

随着全球疫情大爆发,“救命”的呼吸机也陷入全球性缺货。因为新冠病毒对于感染者肺部具有极强的“攻击性”,当新冠病毒靶向攻击患者肺部,引发肺炎和急性呼吸窘迫症候群等并发症时,唯有用呼吸机辅助或替代呼吸,才能保证患者血氧含量,避免呼吸系统和重要器官衰竭。欧盟内部文件显示,整个欧洲的个人防护设备和其他医疗设备,尤其是呼吸机的供应仍令人担忧,“传统”供应链只能满足需求量的大约10%。英国呼吸机缺口预计最高将达到2万台。未来很长一段时间,医疗呼吸机、制氧机等设备会面临产能不足、关键零部件短缺等一系列问题,因为医用呼吸机核心零部件如涡轮和传感器等依赖进口,疫情期间如何解决货源供应问题,是国家厂商亟需考量的。《中国当代医药》中“呼吸机的使用现状与管理”一文中也提到,呼吸机的氧电池、流量传感器以及空压干燥棒属于易损耗零部件,需要定时进行更换,否则可造成氧浓度及流量监测失灵。智驰华芯从2018年开始储备MEMS超声波传感器及气体流量计技术,准备在2020年开发呼吸机、制氧机等医疗设备关键部件-超声波气体流量计,用于控制呼吸机和制氧机氧气流量及氧浓度检测。

图2-智驰华芯MEMS超声波传感器芯片

智驰华芯自2018年以来,一直致力于传感器核心技术研究,得知此次疫情席卷全球的影响,立即加快项目组对呼吸机流量传感器的研发,目前已经完成第一批次MEMS超声波传感器芯片流片及配到电路和算法开发,与传统压电陶瓷超声波传感器对比,MEMS超声波传感器采用低电压的驱动信号就能得到极高信噪比的超声波信号,降低了系统设计复杂度,提高了流量计量的准确性,作为数据采集的唯一功能器件和信息化基础产品,传感器可量化精准地获取各项指标,可完美应用到呼吸机上的气体流量计设备之中。疫情期间,参与研发的核心骨干博士硕士成员加班加点,每天循环在办公室与实验室之间,争取早日实现产品定型和量产。智驰华芯调动公司所有资源以保障项目迅速、完满的完成,研发团队兢兢业业,共克时艰,秉持智驰华芯“责任、勤奋、专注、坚持”的八字方针把每一分精力不遗投入,把一处细节做到完美,为全球抗疫救灾事业添彩助力。

图3-智驰华芯主要产品

智驰华芯(无锡)传感科技有限公司是一家专注于汽车自动驾驶、工业物联网、人工智能和航天航空等领域传感器研发和生产的高科技公司。公司主要产品覆盖工业毫米波雷达、机油/汽油压力传感器和超声波传感器等多项技术领域,部分技术国内领先、世界先进。公司核心研发团队目前拥有3名博士、8名硕士,均毕业于海外知名学府和国内985高校,专业结构覆盖MEMS芯片设计与工艺、系统级先进封装、传感器电路与算法、射频组件开发、超声波和雷达算法等等。研发人员平均七年以上的工作经验,拥有丰富的热式气体流量计、压力传感器、MEMS超声波传感器、微波射频组件和雷达等产品开发经验,来自英飞凌半导体、中国电子科技集团、华为、中兴等国内外知名的电子行业标杆企业。获得2019年无锡科技创新创业大赛二等奖、2019年第七届“创业江苏”科技创业大赛三等奖、2019第八届中国创新创业大赛优胜奖和无锡国家传感网创新示范区“物联网潜力企业奖”,胡国俊博士被评为2018年无锡高新区科技领军人才、2019年无锡市太湖人才“创业领军人才”。

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广州唯量是一家研发与生产一体化的实用型高新企业,有雄厚的自主研发实力,产品覆盖了工业管道所有高纯气体流量测量,做医院氧气质量流量计 以及天然气,压缩空气,和小型实验室流量计,低可测0.02mL/min。 2019年研发了新的质量家用燃气表,即将迎来新的改变。 2020年创立新Knudsens 系列产品,主要应用于气体质量流量计,氧气质量流量计 ,插入式质量流量计,新型抗震涡街,旋进旋涡,涡轮,电磁流量计,超声波流量计【】

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8742 型气体质量流量控制器 (MFC) / 流量计 (MFM) 适合各种应用,例如金属和玻璃生产或加工、发酵过程、测试台或灌装系统和包装机。8742 型提供两款选购:该版本具有不同的模拟和数字(通信)接口,还有带有完全基于 CANopen 接口的版本。第二种版本适合集成至现有的 CANopen 网络,或者组合 ME43 型现场总线网关,集成至工业以太网或现场总线的所有通用工业标准。该版本专为具有多个控制段的应用量身打造。 多 32 个 MFC/MFM 可以连接至现场总线网关。ME43 型可将内部基于 CANopen 的通信传输到工业以太网或现场总线标准。质量流量控制器/流量计可以随时在 büS 和 CANopen 通信之间进行切换。8742 型可以根据需要配置为 MFM 或 MFC。设备 多可以存储四条校准曲线。直接位于气流中的热 MEMS 传感器具有极快的响应时间和 高测量精度,同时能持久稳定地校准。Bürkert 生产的直动式比例阀作为执行器具有极高的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备桌越的控制特性。得益于高 IP 防护等级和防爆等级,使得 8742 型设备尤其适用于恶劣的应用环境。

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