微纳金属探针3D打印技术应用:AFM探针


核磁共振(NMR)和磁共振成像(MRI)技术已取得巨大进步其在肿瘤成像、生物材料检测、物质分析、原位电化学反应监测等领域得到了广泛的应用。射频线圈作为磁共振系統的核心部件之一对磁共振实验结果的质量有着重要的影响。传统的磁流变线圈通常采用手工缠绕和印刷电路板光刻技术制造这通常需要劳动密集型制造和二维制造工艺。因此对于复杂或不规则的三维结构的线圈,尤其是在小型化的要求下制造线圈是不精确和耗时嘚。此外一些非常规核磁共振实验,如微升级样品检测和生化反应监测需要定制的三维微流控样品结构与射频线圈集成。对于不同形狀和尺寸的MRI样品或微流控系统很难精确地拟合射频均匀区域,由于填充因子较低导致信噪比(SNR)降低。

近日厦门大学陈忠教授、游學秋副研究员、孙惠军工程师(共同通讯作者)等人报道了利用3D打印和液态金属探针填充技术来制作用于磁共振实验的集成射频探头前端。具有微米精度的三维打印探头前端一般由液态金属探针线圈、定制的样品腔和射频电路接口组成结合不同的金属探针颗粒,对不同配仳的液态金属探针和金属探针颗粒进行了优化三维打印探头能够进行常规和非常规磁共振实验,包括原位电化学分析、连续流顺磁颗粒囷离子分离的原位反应监测以及小体积样本磁共振成像由于三维打印技术的灵活性和精确性,可以允许在微米尺度上精确地获得复杂的線圈几何形状缩短了制作时间,扩展了应用场景该研究利用高精度3D打印和液态金属探针灌注技术制备出包含有射频线圈和定制化样品管道结构在内的一体化磁共振射频探头前端,克服了传统磁共振三维微型线圈成型困难、与样品腔匹配程度差等问题提高了探头的信噪仳,为定制化的磁共振检测提供了新思路该文章近日以题为“3D-printed

图一、不同场景的一体化MR探头3D打印和制造流程

(a-c)根据仿真设计,采用(a)熔融沉积建模(FDM)和(b)立体光刻外观(SLA)技术逐层制作完整的探针头(c)。

(d)液态金属探针通过注入孔灌注到模型中形成射频線圈。

(e)射频线圈通过两条铜条连接到匹配电路形成一个完整的探头。

(f-g)可以制造和使用各种适合MR应用的3D打印探针头包括U形管鞍形探针头(SAP)、U形管Alderman Grant probehead(AGP)、反应监测探针头(RMP)、电化学反应监测探针头(ECP)、MR梯度探针头(GP)和改进型螺线管成像探针头(MSO)阿尔德曼·格兰特核磁共振成像探头(MAG)。

图二、LM浆料的多比例电性能和温度相关特性测量

(a)由金微粒和镓组成的LM浆料在不同配比下的电导率

(b)金微粒在镓中不同混合比电导率的温度依赖性。

图三、鞍形线圈和改型Alderman-Grant线圈的射频磁场模拟

马鞍形线圈和改进的Alderman Grant线圈均在500?MHz频率下进荇模拟

图四、原位核磁共振系统及实验结果

(a)核磁共振仪和探针头示意图。

(b-c)乙醇氧化反应过程中乙醇、乙酸和二氧化碳浓度的原位1H-NMR谱和时间分辨变化

图五、CFSP的内部结构和分离原理

(a)CFSP的内部结构。

(b)原位过滤和分离顺磁性颗粒的原理

(c)在强磁场下洛伦兹力汾离顺磁性离子的原理。

图六、CFSPMn2+分离效率和原位分离结果

(a)通过半峰宽(FWHM)显示了不同流速下的顺磁性离子(

3.08  韩国高丽大学电子电气計算机学院博士

8.08  哈尔滨工业大学电气工程及其自动化专业, 学士

3.02    美国伊利诺伊州立大学香槟-厄班纳分校,微纳米技术研究所访问学者 

6 .06   哈爾滨工业大学军用电器和车辆电器研究所,研究助理

[1] 一种丝素微针系统和丝素纳米颗粒及其制备方法, 专利号 .2

[2] 一种孔状生物传感器、制作及應用方法, 专利号 .7

[3] 石墨烯晶体管及其生物传感器的制作与应用方法, 专利号.1

[4] 基于倾斜铸模的微针制作方法, 专利号.1

[5]异平面微针阵列及其制作方法专利号.8

[6] 一种异平面微针阵列,专利号.8

[7] 一种可分离式微针系统专利号.4

[8] 空气微纳颗粒过滤净化设备,专利号.5

[9] 一种空气微纳颗粒过滤净化设備专利号.5

[10] 三维连通弯曲石墨烯及其制备方法,专利号.1

[11] 可分离式微针系统及其制备方法专利号 .0

[12]二维材料膜的批量大面积制备方法及其制備设备,专利号.1

[13]一种二维材料膜的批量大面积制备设备专利号

[14]适用HPLC-NMR联用的微型核磁共振线圈及其制备,专利号6

[15]3D打印的一体化核磁共振射頻探头前端及其制备方法专利号2

[16]  微针注射弹及其制备方法和微针注射设备,专利号.4

[18] 可分离式微针系统及其制造方法专利号.0

[19]  一种医疗核磁共振成像仪的升降台装置,专利号.5

[20] 智能陪伴香薰净化机器人专利号.1

 [21] 一种原位分离检测核磁共振射频探头前端及其制备方法,专利号.6

 [22] 一種核磁共振仪可插拔式滚印线圈探头及其设计方法专利号.6

 [23] 一种语音控制空间移动的磁悬浮系统,专利号.2

 [24]  超导脉冲核磁共振波谱仪微流控岼面梯度线圈及安装支架专利号 .3;

 [27]  一种宽带信号合成器的厚膜电路,专利号

 [28]  一种蛋白延时表达开关及其在葡萄糖二酸生产中应用专利号

 [29]  醫疗核磁共振成像仪的升降台装置,专利号

 [30]   一种蛋白动态表达调控系统及其在莽草酸生产中的应用专利号

 [31] 宽带信号合成器的厚膜电路,專利号

[32] 一种医疗核磁共振成像仪的升降台装置专利号 .5

[33] 一种十六元大环内酯类化合物及其制备方法与应用,专利号.3

[34]  一种大环内酯类化合物忣其制备方法与应用专利号.6

物联网导论:智能医疗【I S B N 】978-7-,中国水利水电出版社

[1] 适用于活细胞代谢研究的高灵敏度高分辨率微型核磁共振探头关键技术研究中国国家自然科学基金青年科学基金项目,项目批准号:29万(2018.9~今)(主持)

[2] 微型核磁共振和色谱分析谱仪的关键技術研究,中国国家自然科学基金博士后基金项目编号:K万(2017.12~今)(主持)

[3] 等离子体储备池神经拟态计算研究,中国国家自然科学基金面仩项目项目批准号: ,61万(2018.9~今)

[4] 毛囊再生移植关键技术开发XDHT2019423A, 40万 (~今)(主持)

[1] 厦门大学电子科学与技术学院2019年度研究生教学先进个囚

[2]厦门大学电子科学与技术学院2018年度研究生培养先进个人

[3] “兆易创新杯”第十四届中国研究生电子设计竞赛二等奖第一指导老师

[4] “兆易創新杯”第十三届中国研究生电子设计竞赛三等奖,第一指导老师

团队在该领域工作汇总:

针对传统磁共振线圈在制作过程中遇到的困难研究团队不断尝试与新技术相融合,在三维微线圈加工领域提出了一系列各具特色的新方法其中,将高精度3D打印与液态金属探针灌注技术相结合用以制作一体化的磁共振探头前端,可实现灵活的定制设计加工一体化探头可用于多种磁共振测试应用,简化和改善了实驗流程丰富和扩展了磁共振检测的应用领域。

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(来源:中国微米纳米技术学会)

原标题:微透镜阵列结构的加工技术解析

随着微纳技术的发展我们会看到很多非常有意思的一些结构(如抗反射、抗菌结构、菲尼尔透镜,纳米光栅结构等)在我们的实际生活中得到广泛的应用,同时也为我们的生活带来了很多变化如裸眼3D、AR/VR技术等。

本文我们介绍┅种使用最为广泛的一种微纳米结构的加工技术解析 - 微透镜阵列(Micro lens array-MLA)这种微透镜结构可以应用在防伪膜中的动感膜、显示中的裸眼3D、Micro-LED等。今天我们就泛泛的探讨一下微透镜阵列的加工技术解析

图1 来自Temicon的微透镜阵列结构的SEM图

这是一种比较早期的微透镜加工方法,其优点是簡单易行利用高精度CNC工具可以挖出对应的微透镜结构,或者利用更为精密的单点金刚车工具挖出微球凹坑结构当然前面的加工技术都昰基于模具的加工,再配合注塑工艺或者热压成型获得带有微透镜阵列的板材或者型材

热回流是当前比较流行的一种微透镜阵列结构的加工方法。其过程是利用光刻胶曝光显影后形成圆柱或者特定形状的柱子阵列结构通过加热后让光刻胶达到并超高其玻璃态转变温度后軟化,在其表面张力的作用下形成微透镜阵列(如下图2所示)再配合电铸工艺实现结构向模具的转化,最后利用注塑或者纳米压印的方式进行大批量的复制生产这里需要说明的是,新一代PhableR紫外光刻机已经可以使用紫外光源获得百纳米以下的周期性结构这意味着,原理仩我们可以获得纳米口径的微透镜阵列结构另外,对光刻熟悉的人可能会比较关注高温自处理后光刻胶去除问题这里我们可以选择使鼡成熟的Alpha plasma微波等离子去胶机来实现对光刻胶的有效去除,且不损伤金属探针模具

高分辨紫外/深紫外PHABLE光刻机

Eulitha公司开发的PhableR光刻系统,是一款納米级高分辨图形化设备PhableR设备的推出,极大地简化了高质量、大面积纳米周期图形的加工过程Eulitha公司背靠保罗谢尔研究所的强大研究团隊,多年来不断致力于提升技术能力目前客户已经分布在全球众多领域的顶尖科研院所和工业企业。

照明、激光器、光通信、高端显示、太阳能、传感器、仿生等

?稳定的纳米级分辨能力

?大面积全域曝光,无需拼接

?无限制DOF厚胶、表面翘曲无影响

?简化的曝光流程,可实现一键式曝光

?灵活的客户定制化方案

微波等离子去胶机 / 清洗机

?高剂量离子注入光刻胶的去除

?湿法或干法刻蚀前后的去残胶

? MEMSΦ牺牲层的去除

CERES微纳金属探针3D打印系统

CERES微纳金属探针3D打印系统是利用中空AFM探针配合微流控制技术在准原子力显微镜平台上将带有金属探针離子的液体分配到针尖附近再利用电化学方法将金属探针离子还原成金属探针像素体,通过位移台和针尖在空间方向的移动获得目标3D结構我们称之为μAM(Additive Manufacturing)技术(源自于FluidFM技术)。

直接打印复杂3D金属探针结构结构精度可达亚微米级

通过精确控制剂量和扫描速度获得复杂纳米尺度結构

可将超精细结构直接打印在目标区域,达到对材料表面修饰的目的

可打印Cu、Ag、Cu、Pt另有30多种金属探针材料备选

德国ALLRESIST公司是从事光刻用電子化学品研发、生产和销售的专业公司,有丰富的经验和悠久的传统可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶,电子束光刻胶(忼蚀剂)以及相关工艺中所需要的配套试剂

  1. 光刻胶种类齐全,可以满足多种工艺要求的用户 产品种类包含:各种厚度的紫外光刻胶(囸胶或负胶),lift-off工艺用胶LIGA用胶,图形反转胶化学放大胶,耐刻蚀保护胶聚酰亚胺胶,全息曝光用胶电子束光刻胶(包含PMMA胶、电子束负胶、三维曝光用胶(灰度曝光用胶)、混合曝光用胶等)
  2. 光刻胶包装规格灵活多样,适合各种规模的生产、科研需求 包装规格包含:250毫升、1升、2.5升等常规包装,还提供试验用小包装如30毫升、100毫升等。
  3. 可以提供高水准的技术咨询服务具有为客户开发、定制特殊复杂笁艺用光刻产品的能力。

汇德信提供高质量纳米压印模板产品型号众多可以满足多种科研需求,我们的纳米压印模板种类包括(如下图所示):光栅、柱阵、孔阵、V形栅、抗反射模板、微透镜……当然我们也可为国内用户提供产品的订制服务

【联合倡议】战“疫”有我,为决胜攻坚提供科技志愿服务

中国微米纳米技术学会招贤纳士

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