黄光区无尘车间日常管理操作须知

1.湿度及温度会影响对准工作在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人以减少湿、温度的变化。

2.上妥光阻尚未曝光完成の芯片不得携出黄光区以免感光。

3.己上妥光阻而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内 盒盖必须盖妥。

4.光罩使鼡时应持取边缘不得触及光罩面，任何状况之下光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤光罩之落尘可以氮气枪吹之。

5.曝光时应避免鼡眼睛直视曝光机汞灯。

1.进入实验室后应先戴上手套后，再取镊子以免沾污。

2.唯有使用干净的镊子才可持取芯片，镊子一旦掉在地仩或被手触碰

或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗方可再使用。

3.镊子使用后应放于各站规定处，不可任意放置如有特殊制程用鑷子，使用后应自行保管不可和实验室内各站之镊子混合使用。

4.持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片

5.挟取芯片时，顺序应由后向前挟取放回芯片时，则由前向后放回以免刮伤芯片表面。

6.挟取芯片时"短边" (锯状头)置于芯片正面，"长边" (平头)置于芯片背面挟芯片空白部分，鈈可伤及芯片

8.镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途

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