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Nanoanalytik开发的原子力显微镜（AFMinSEM^TM）空间结构紧凑，可在真空环境下实现高成像速度和高精度定位。

可集成在扫描电子显微镜（SEM）中实现样品的三维形貌表征，而不需要对SEM腔室进行额外的改造。附加新颖的微纳加工功能，如成像关联分析，扫描探针光刻，电子束诱导沉积，纳米加工（逆向工程，模板修复）等。

• 真空环境的微纳米结构表征制备系统
• 压阻读数和双材料激励全部集成在SmartProbe上
• 数据线标准法兰接口，适用于多数真空腔室
• 三轴纳米定位，水平移动范围20x20mm