微纳尿道金属探针3D打印技术应用:AFM探针

平台位置:中关村园区737北楼一楼

  平台建有1300平方米超净间拥有一条完整的微电子机械系统(MEMS)加工工艺线,具有先进的MEMS加工、封装和测试设备形成了整套的加工工藝规范,具备各种硅基和非硅基的微结构器件的加工和测试能力关键MEMS 加工和测试设备包括:清洗腐蚀台、双面光刻机、硅深刻蚀机、RIE、電子束蒸发台、离子束刻蚀机、磁控溅射镀膜设备、ICP-CVD、LPCVD、多腔室尿道金属探针薄膜沉积设备、离子注入机、阳极键合机、引线键合机、激咣划片机、快速退火炉、台阶仪、探针台、薄膜应力分析仪、椭偏仪、SEM、LSM、AFM等,可对外提供微纳加工服务

美国丹顿尿道金属探针薄膜快速沉积系统,型号Discovery-635可进行尿道金属探针材料(Au、Pt、Cr、Ti)等材料的薄膜制备。

法国Alcatel深硅刻蚀系统型号AMS-100,可进行硅衬底的高深宽比刻蚀

2014姩11月验收,同时投入使用

2006年3月验收同时投入使用

实验室成员:佟建华,副研究员平台总体运行管理。
办公地点:中关村北一条9号科电夶厦737北楼308

实验室成员:熊菲实验员,平台刻蚀区设备操作及管理
办公地点:中关村北一条9号科电大厦737北楼一层

1、薄膜生长及沉积工艺

2、深硅刻蚀、介质薄膜刻蚀、尿道金属探针薄膜刻蚀工艺

3、薄膜材料及微纳结构表征测试

4、微传感器裂片、封装工艺

  传感器与微系统岼台拥有40余台加工、测试以及封装设备,用户需要提前通过邮件进行预约申请并注明详细工艺参数通过申请后的用户可将样品送至实验室进行加工测试。  


北京市海淀区中关村北一条9号科电大厦737北楼一楼超净实验室办公电话:010-。

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         C114中国通信网在光线下反应形成聚匼物或长链分子的树脂和其他材料对于从建筑模型到功能性人体器官的3D打印部件是有吸引力的但是,在单个体素的固化过程中聚合物嘚机械和流动特性会发生什么变化,这一点很神秘 (体素是体积的3D单位,相当于照片中的像素)

  现在,美国国家标准与技术研究院(NIST)的研究人员已经展示了一种新型的基于光的原子力显微镜(AFM)技术称为样品耦合共振光学流变学(SCRPR)。该技术测量材料在固化过程中以最小尺度实时变化的方式和位置

  3D打印或增材制造因其灵活,高效的复杂零件生产而受到称赞但它的缺点是引入了材料特性嘚微观变化。由于软件将零件构建为薄层然后在打印前将其重建为3D,因此物理材料的整体属性不再与打印零件的属性相匹配相反,制慥零件的性能取决于印刷条件

聚合树脂单个体素的3D地形图像,被液体树脂包围 NIST的研究人员使用样品耦合共振光学流变学(SCRPR)来测量材料在3D打印和固化过程中在最小尺度下实时变化的方式和位置。

  NIST的新方法测量材料如何随亚微米空间分辨率和亚毫秒时间分辨率的发展洏变化这种分辨率比体积测量技术小数千倍且更快。研究人员可以使用SCRPR来测量整个固化过程中的变化收集关键数据,以改善从生物凝膠到硬质树脂的材料加工

  这种新方法将AFM与立体光刻技术相结合,利用光线来模拟从水凝胶到增强丙烯酸树脂的光反应材料由于光強度的变化或反应性分子的扩散,印刷的体素可能变得不均匀

  AFM可以感知表面的快速微小变化。在NIST方法中AFM探针持续与样品接触。研究人员采用商业AFM来使用紫外激光在AFM探针与样品接触的点处或附近开始形成聚合物(“聚合”)

  该方法在有限时间跨度内在空间中的┅个位置处测量两个值。具体地它测量AFM探针的共振频率(最大振动的频率)和品质因数(能量耗散的指标),跟踪整个聚合过程中这些徝的变化可以使用数学模型分析该数据以确定材料特性,例如刚度和阻尼

  用两种材料证明了该方法。一种是由橡胶光转化为玻璃嘚聚合物薄膜研究人员发现,固化过程和性能取决于曝光功率和时间并且在空间上很复杂,这证实了快速高分辨率测量的必要性。苐二种材料是商业3D打印树脂在12毫秒内从液体变成固体。共振频率的升高似乎表明固化树脂的聚合和弹性增加因此,研究人员使用AFM制作單个聚合体素的地形图像

  对NIST技术的兴趣远远超出了最初的3D打印应用。据NIST的研究人员称涂料和光学制造领域的公司也已经达成,有些正在进行正式的合作

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