薄膜电容参数器的容量大小取决於薄膜金属层面积的大小所以容量的下降主要就是金属镀层受外界因素影响，面积减少而产生的

在电容器制作过程中，膜层之间存在微量的空气且较难完全消除。电容器工作时空气在电场作用下，有可能被电离空气电离后产生臭氧，臭氧是一种不稳定的气体常溫下自行分解为氧，是一种强氧化剂低浓度下可瞬间完成氧化作用。金属化薄膜的金属镀层（成份为Zn/Al）遇到臭氧分解的氧后立即氧化苼成透明不导电的金属氧化物ZnO和Al2O3，实际表现为极板面积减小电容器容量下降。因此消除或减少膜层间的空气可以减缓电容量衰减。

当膜层间的空气被外界水份侵入时空气的击穿电位会降低，加快空气电离产生大量的臭氧，氧化金属化薄膜的金属镀层电容器的容量會迅速下降。

金属膜电容器是在纸上直接蒸发一层金属薄膜作为电极即是金属化纸介电容器。 由于电极是被蒸发上去的金属膜所以比鋁箔薄得多。这种电容器最大的特点是具有 自愈作用如果电压过高，使电容器内部介质某一点被击穿则短路电流会使介质损坏处的 金屬膜蒸发掉， 从而避免两个极片间短路 使电容器继续工作。 当然击穿的范围也不能太大 否则影响电容器的电容量。金属膜纸介电容器通常采用环氧树脂封装所以防潮性能很好。 金属膜电容器一般用在低频电路中

所以金属膜电容注意以下事项：

2用于高频。（频率高介质损耗大，发热击穿）