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ISO为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-1ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成:

2部分:为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 

用户应注意,第2至第7部分的标题为第1部分发行时的工作标题。如果从工作计划中删除了一部分或几部分,剩余部分可以重新编写。

14644的组成部分,附录ADEF仅作资料用。

洁净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被控制在合适的级别,以确保完成对污染敏感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制:航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品。

ISO 14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求。本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法。

为划分等级,ISO 14644的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围。本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。

ISO 14644的本部分为洁净室和污染控制系列标准中的一个标准。除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑。这些内容在ISO/TC209技术委员会制定的其它国际标准中有详细论述。

在某些情况下,有关管理机构可能会规定动作一些补充的政策或限制。这就可能要求对标准的测试程序作适当的修改。

洁净室及相关受控环境―

14644的本部分是根据空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级。只有在/a-163/)

E3 施工和启动期间的洁净度和清洁

    施工和组装过程中,很多工作本身就产生污染。应该制订并执行清洁施工协议,以达到规定的污染控制目标。特别应该注意工作的时间安排,污染最大的工作应该先于污染较小的或对污染较敏感的工作完成。

施工期间,应采取措施保证组装和施工中产生的污染物及时隔离、运走,减少对周围环境的污染。贮存方法可用临时性屏障、墙、对临界区加压,及预防性地使用空气处理系统中临时“献身”的过滤器。这种过滤器是用于保护空间清洁(清洁环境和空气处理系统)免受外部污染,并可以初始加压和使用在建造批准前和其后的设施使用前的商定阶段或启动阶段,就要用适当等级的过滤器把这种过滤器更换下来。应按照规定制订计划,持续地或频繁地清洁和控制,阻止污染聚集在设施内的任何部分,并便于在启动前进行实质性的最后的清洁(见第6条和E12)。

E 施工材料和特性实例

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