APCVD 常压化学气向淀积

beol （生产线）后端工序

CERDIP 陶瓷双列直插封装

CMOS 互补金属氧化物半导体

CMP 化学机械平坦化

JEFT 结型场效应管

LSI 大规模集成电路

MESFET 用在砷化镓结型场效应晶体管中的金属栅

MOS 金属氧化物半导体

MOSFET 金属氧化物半导体场效应管

MSI 中规模集成电路

novolak 苯酚甲醛聚树脂材料

oxide 氧化物、氧化层、氧化膜

patterning 图形转移，图形成型，刻印

PECVD 等离子体增强化学气相淀积

PEL 允许曝露极限值

SCALPEL 具有角度限制分散投影电子束光刻

SIMOX 由注入氧隔离，一种SOI材料

SMIF 标准机械接口

SSI 小规模集成电路

ULSI 甚大规模集成电路

VLSI 超大规模集成电路