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中微半导体设备（上海）股份有限公司 
中微公司董事长尹志尧致辞 
尊敬的各位股东、伙伴们、朋友们， 
大家好！我谨代表中微公司董事会、公司管理层和全体
员工，向各位股东和社会各界对中微公司的大力支持表示衷
成为国民经济的两大支柱。集成电路是数码产业的基础，而
半导体微观加工设备又是集成电路和泛半导器件产业的基石。
没有能加工微米及纳米级微观器件的光刻机，等离子体刻蚀机，薄膜沉积等设备，就
没有集成电路和微器件工业。中微致力于开发和提供微观加工的高端关键设备近 18
年，已成为国内高端微观加工设备的领军企业之一，国际半导体设备产业认可的新星。 
2021年新冠肺炎疫情等持续影响全球经济，半导体产业的战略重要性不断凸显。
受通讯、汽车电子以及消费电子等产业强劲需求的推动，一方面半导体设备市场需求
不断增大，另一方面芯片供应短缺传导至供应链各个环节，叠加国际政治、经济环境
变化，形成错综复杂的局面。过去的一年里公司上下一心，迎难而上，持续创新增效，
精益营运，兼顾短中长期的经营目标，坚持合作共赢，和客户及合作伙伴密切协作，
在复杂的形势中紧抓机遇，放眼未来，经营质、量齐头并进，取得了自公司成立以来
最好的经营成绩。 
公司 2021 年在市场拓展、新品研发和财务表现等方面均进展不俗。其中，产品
在关键客户市场的接受度和销售额稳步提升，高端工艺研发进展顺利，新签订单金额
元。2021年公司综合优势继续得到强化和提升，各经营指标的增长性在行业中跻身领
中微公司致力于打造具有国际竞争力的产品并进行多元化产品线布局。公司的各
类等离子体刻蚀设备和薄膜设备已有超过 2300 个反应腔在中国大陆、亚洲和欧洲等
70多条集成电路和微器件生产线实现大规模量产。公司 CCP 等离子体刻蚀设备产品
持续保持竞争优势，在国内外一线客户的逻辑和存储芯片制造生产线上，包括先进的
5纳米芯片生产线和下一代的试生产线上，持续提升市场占有率，在部分关键客户市
场占有率已进入前三位甚至前二位。公司 ICP 刻蚀设备在 2021 年也在客户端取得突
破性进展，已通过诸多客户的工艺认证并获得重复订单。公司 2021 年 ICP 刻蚀机付
UniMax?，半年内即已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过 100腔，并且
不断收到更多的订单。公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动
提升公司在MOCVD产品上的领先市场地位。 
中微公司继续瞄准世界科技前沿，持续稳步推进既定的三维发展战略，既深耕集
成电路关键设备领域，积极拓展泛半导体关键设备领域，又不断利用公司的核心竞争
力，探索在新兴科技领域的市场机会。在确保等离子体刻蚀设备及MOCVD设备等核
心业务高速稳定成长之外，中微公司在集成电路的薄膜设备领域正在开发 LPCVD设
备（低压化学气相沉积设备）和 EPI设备（外延生长设备），并已取得了良好进展。此
外公司正在筹划开发 ALD 设备（原子层沉积设备）和 ALE 设备（原子层刻蚀设备）
等关键设备。公司同时认真考察、参与符合企业发展战略的投资机会，积极谨慎布局
产业链上下游部分重点领域的投资,致力于获得战略协同效应并兼顾良好的经济效益。
在聚焦主业的同时，公司在外延发展方面继续积极探索。下属子公司的中微汇链、中
微惠创、芯汇康在新业务拓展领域取得了进展，得到了市场认可和用户的积极评价。 
2021年公司成功完成再融资发行，募集资金约 82亿元，这是继 2019年科创板上
市后的又一有力支撑企业高速发展的里程碑式事件。公司的现金储备约 100亿元，这
给公司的研发、营运、投资和基本建设项目提供了资金保证。公司不断提升研发投入
的强度和效率，有力地保障了公司在科技创新、高水平研发队伍建设、科学合规营运、
国内外业务拓展、领先的客户服务支持等方面的质量，不断提升企业的综合竞争力，
积累后续高速发展所需的产品、技术和营运能力等方面的重要储备。 
公司高度重视打造立足本土和国际开放的营运能力，践行多元化人才队伍的建设，
不断提升针对多元客户的支持服务能力和技术合作水平，在客户满意度上迭创佳绩。
国内除上海总部外，公司还在南昌、厦门、合肥、杭州、广州、大连、青岛等地为客
户就近提供专业技术支持服务。内地以外，公司在中国台湾地区、新加坡、韩国、日
本等地设有分支机构为客户提供就近及时的专业技术服务，并于 2021 年新开设美国
分支机构支持新业务。 
2021年，公司获得了多项殊荣，行业认可度不断提升。在第二十二届中国专利奖
的评选中，中微公司再次获得“中国专利金奖”。公司秉承“质量和持续改进根植于中
微公司的每一个方面，及每个人每分钟的工作中”的质量方针，建立了中微公司“三全、
三重保险、三个满意”的质量管理模式，在全国领先企业参与的第四届中国质量奖的评
选中成功胜出，荣获“中国质量奖提名奖”。  
中微公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进
技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域的建
设，公司正在把 ESG作为公司持续发展大政方针，给产业和社会，给国家和全球在经
济和社会可持续发展上贡献更大的力量。 
公司在 2021 年总结自成立以来登高望远、聚焦发展的成功经验，全面梳理公司
核心价值观和企业文化，总结了四个十大，即“产品开发的十大原则”、“战略销售的十
大准则”、“营运管理的十大章法”和“精神文化的十大作风”。通过总结并宣导“四个十
大”，落实科学管理和营运体系，倡导先进的企业文化，不断提升企业经营质量，提高
员工的向心力和积极性，打造能孕育、保持创造力和发展力的中微大平台。同时，公
司通过文化宣导和输出，和希望和中微公司共同做大做强的海内外合作伙伴一起努力
实现技术进步和并推动产业的快速发展。 
在过去的十年中，中微一直保持了年销售持续超过 30%的高速增长，为给今后的
十年到十五年的高速增长打下坚实的基础，公司在 2021年连续启动了三个建设项目。
在江西省南昌市高新区约 14 万平方米的研发生产基地已全面封顶，上海市临港新片
区约 18 万平方米的研发生产基地和约 10 万平方米的总部大楼也在紧锣密鼓的建设。
在两年之内，中微公司将会有十几倍大的厂房全面建成，为今后的大发展发展夯实基
中微公司已经初步发展为有较强竞争力的集成电路和微观器件制造装备制造的
领先企业之一。百尺竿头更进一步，我们已经取得的成就和公司的长远目标及行业和
资本市场的期望还有很大的距离。我们深知任重道远，必将紧紧围绕公司在集成电路
和其它半导体设备上的核心竞争力规划公司的未来发展，心无旁骛地做大做强主业，
同时也会与时俱进，积极探索介入其它符合公司核心竞争力的发展机会，在总体上扩
大在半导体和泛半导体领域的版图，通过内部孵化发展和外延并购等方式实现协同发
展，让业绩增长更有持续性，抵御行业周期波动的能力更强，综合经营水平更高，规
模和效益潜力的底垫更厚，在技术进步、规范治理、业务发展、业绩增长等方面保持
良好势头，并不断向国际先进水平看齐，在充分把握国内市场机会的同时，坚持进行
理性的国际市场布局，打造具有国际竞争力的平台型企业集团。 
“攀登勇者，志在巅峰”。我们坚信，随着科技、新基建的不断投入和半导体集成
电路行业在我国及世界经济中重要性的不断提高，中微公司的未来发展将具有越来越
广阔的空间。中微公司已经拥有较好的国内外市场认可度、较强的技术和品牌优势和
进取的产品发展规划、深厚的梯队人才优势、厚实稳健的财务基础，在董事会、管理
层和全体员工的不懈努力下，在股东和社会各界的大力支持下，公司一定能抓住机遇，
继续高速、稳定、安全发展，为股东和社会创造更大的价值。我们热诚欢迎广大投资
者和社会各界继续鼓励、鞭策中微公司，和我们一同打造优秀的标杆型上市公司！  
一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、
完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。 
二、 公司上市时未盈利且尚未实现盈利 
报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可
能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“五、风险因素”部分内容。 
四、 公司全体董事出席董事会会议。 
五、 普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报
六、 公司负责人尹志尧、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负责人（会计主管人员）陈伟文
声明：保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。 
七、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 
考虑到公司目前处于快速发展期，研发投入等资金需求较大，为更好地维护全体股东的长远利益
，公司2021年度不分配利润，资本公积不转增。以上利润分配预案已经公司第二届董事会第五次
会议审议通过，该预案尚需公司2021年年度股东大会审议通过。 
八、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项 
本年度报告中涉及的未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成公司对投资者的实质承诺，投资者
及相关人士均应当对此保持足够的风险认识，并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异，敬请
投资者注意投资风险。 
十、 是否存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况 
十一、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况 
十二、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性 
载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管
人员）签名并盖章的财务报表。 
载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件。 
在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义： 
指 中微半导体设备（上海）股份有限公司 
股东大会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司股东大会 
董事会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会 
监事会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会 
元、万元、亿元 指 人民币元、人民币万元、人民币亿元 
司在新加坡设立的子公司 
指 新加坡商中微半导体设备股份有限公司台湾分公司，中微国际在中
国台湾设立的分支机构 
设立的分支机构 
中微惠创 指 中微惠创科技（上海）有限公司 
中微厦门 指 中微半导体设备（厦门）有限公司 
中微汇链 指 中微汇链科技（上海）有限公司 
上海科创集团 指 上海科技创业投资（集团）有限公司 
置都投资 指 置都（上海）投资中心（有限合伙） 
上海自贸区基金 指 上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙） 
悦橙投资 指 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙） 
橙色海岸 指 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙） 
君邦投资 指 嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙） 
南昌智微 指 南昌智微企业管理合伙企业（有限合伙） 
国开创新 指 国开创新资本投资有限责任公司 
创橙投资 指 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙） 
和谐锦弘 指 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙） 
兴橙投资 指 共青城兴橙投资合伙企业（有限合伙） 
君鹏投资 指 嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙） 
茂流投资 指 合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙） 
励微投资 指 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）