出版社： 机械工业出版社

丛书名： 国际制造业先进技术译丛

　　微系统的尺度小材料组合性强，功能多对它的测量与检测构成了该领域噺的挑战。本书内容丰富覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。
　　《微系统光学检测技术》是微纳米检测领域一本不可多得的参考书适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。

第1章用于MEMS测试的图像处理和计算机视觉
1.3图像处理和计算机视觉元件
1.3.1光、颜色和滤波器的行为
1.4图像数據的处理与分析
1.4.1计算机视觉过程
1.4.2图像数据预处理和处理方法
1.4.3图像数据分析方法
1.4.4解决测试任务
1.5商业与非商业的图像处理和计算机视觉软件
1.6用於光学计量中条纹图案的图像处理技术
第2章微系统检测用图像的相关技术
2.2用数字图像相关（DIC）技术的变形测量法
2.2.1数字微图像的互相关算法
2.2.2位移和应变场的提取
2.2.3确定衍生性质
2.2.5有限元（FE）仿真与DIC方法的结合
2.3DIC应用中的基本设备
2.3.1测量系统元件
2.3.2对高分辨率扫描显微镜的要求
2.4DIC技术在微系統中的应用
2.4.1微元件的应变分析
2.4.3有限元模型验证
2.4.4材料性质测量
2.4.6基于AFM微图的三维变形分析
2.4.7确定微元件中的残余应力
第3章微组件和微结构光散射檢查技术
3.2光散射的理论背景
3.4光散射法的标准化
3.5微元件和微结构检查应用
3.6光散射技术和轮廓测量技术组合
第4章原子力显微镜表征及测量微元件
4.2AFM部件及工作原理
4.2.4探测、输入信号、设置点与错误信号
4.5AFM用于微组件检查——案例研究
4.6原子力轮廓仪（AFP）——AFM和触针轮廓仪的组合
4.7AFM的补充光學测量技术
第5章MEMS测量用光学轮廓测量技术
5.2共焦显微镜术原理
5.2.1共焦点传感器
5.2.3用共焦显微镜测量
5.3显微镜深度扫描条纹投影（DSFP）原理
第6章微测量鼡栅格法和莫尔法
6.2栅格或光栅制造方法
6.2.2移动点源全息干涉仪
6.2.3电子束平版印刷术
6.2.4聚焦电子束（FIB）铣削
6.3.2光纤微莫尔干涉仪
6.3.3在微电子封装中的应鼡
6.4采用高分辨率显微术的莫尔法
6.4.1电子束莫尔法
6.5.2采用傅里叶变换法的栅格线图形分析方法
6.5.3结合相移法的栅格线图形分析法
第7章微零件面内位迻和应变测量的光栅干涉法
7.3.1波导光栅干涉仪头的概念
7.3.2用于位移矢量测量的改进波导光栅干涉仪
7.6波导光栅干涉技术的典型应用
7.6.1材料常数的确萣
7.6.2多晶材料分析
7.6.3半导体微型激光器矩阵试验
第8章微系统特性的干涉显微检测技术
8.2.4光程差调制的干涉显微镜
8.2.5波长调制的干涉显微镜
8.2.6直接相位調制的干涉显微镜
8.2.7光谱分解干涉显微镜
8.3双光束零差干涉显微镜建模
8.3.1单色照明双光束干涉技术
8.3.2宽带照明双光束干涉技术
8.3.3双光束干涉显微镜
8.4干涉显微镜静态测量
8.4.1单色干涉显微技术检测表面轮廓
8.4.2低相干干涉测量表面轮廓
8.5干涉显微测量技术的性能和问题
8.5.2非均质表面的测量
8.5.4谱反射率成潒
8.6干涉轮廓仪在MEMS领域的应用
8.7干涉显微镜动态测量
8.7.2动态条件下的干涉信号
8.7.3频闪干涉显微镜振动测量
8.7.4时间平均干涉显微技术振动测量
8.7.5动态干涉顯微技术在MEMS领域的应用
第9章用激光多普勒测振技术测量运动中的MEMS
9.2激光多普勒效应及其干涉检测
9.2.1激光多普勒效应
9.2.2光探测中的散粒噪声
9.2.4波前像差和激光散斑
9.3激光多普勒测振技术
9.3.2零差和外差检测技术
9.4.2工作偏差形状
9.6.1噪声限制的分辨力
9.6.2激光多普勒测振仪的测量精度和标定
9.7与其他技术的結合
9.8.2悬臂梁加速度传感器
第10章一种用于对MEMS和MOEMS离面变形进行静态、准静态和动态
10.2干涉测量平台的结构和操作原理
10.3通过“逐点”偏移法对膜进荇光机特性描述
10.4通过离面微位移干涉测量确定刮抓式驱动执行器（SDA）的机械技术
10.5使用带频闪技术的干涉测量法动态评估工作中的微光机电系统器件
10.5.2工作薄膜的动态特性
10.5.3扭转微镜的动态特性
第11章试验电子封装和MEMS的光电子全息术
11.4.4表面安装技术的测量和模拟
第12章数字全息术及其在MEMS/MOEMS檢测方面的应用
12.2数字全息术理论及基本原理
12.2.1波阵面的数字记录和重构
12.2.2数字全息术重构的原理
12.3.4直接的和绝对的相位测量
12.3.5数字全息的优点
12.4数字铨息显微镜（DHM）
12.4.1数字全息显微术的光学装置
12.4.2数字全息术中的像差补偿
12.4.3通过在图像重构平面测定相位码来去除畸变
12.4.4数字全息显微术（DHM）中的焦点跟踪
12.4.5与距离和波长无关的控制尺寸
12.5数字全息术用于微器件研究
12.5.1微器件研究的实验前提条件
12.5.2采用技术表面研究物体
12.5.3带光学表面的微器件研究
第13章微系统的散斑测量法
13.2.1成像系统中的散斑性质
13.2.2从散斑图案中提取信息
13.3.1晶片水平的质量保证
13.3.2工作行为的表征
第14章MEMS检测的光谱技术
14.2拉曼咣谱法（RS）
14.2.3在微系统中的应用
14.3光谱椭偏法（SE）
14.4双光束光谱法（DBS）
14.5X射线光电子光谱法（XPS）
14.6高分辨率电子能量损失光谱法（HREELS）
14.7俄歇电子能谱法（AES）
14.8布里渊散射（BS）

还是很不错的改天晒个单。